減反射膜
減反射膜又稱增透膜，其主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面反射鏡等表面反射，從而增加這些元件的透過率，減少或消除雜散光系統(tǒng)。
減反射膜原理
反光膜是基于光的波動和干涉現(xiàn)象。兩個相同振幅、相同波長的光波疊加，光波振幅增強(qiáng)；如果兩個光波有相同的原點(diǎn)，波的路徑不同，如果疊加，就會互相抵消。
反射膜是利用這一原理，在透鏡表面涂上反射膜，使膜前后表面發(fā)生干擾，從而抵消反射光，達(dá)到防反射的效果。
減反射膜應(yīng)用
減反射膜在實踐中應(yīng)用廣泛，最常見的是透鏡和太陽能電池——通過制備減反射膜來提高光伏組件的功率瓦數(shù)。
早期的光伏電池可以采用不同二氧化硅和二氧化鈦膜作為減反射層。
氮化硅是目前用于晶體硅光伏電池的減反射膜材料。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)用于電離氨和硅烷，這些氨和硅烷沉積在高折射率的硅片表面，可以發(fā)揮更好的抗反射效果。
減反射膜制備方法
溶膠-凝膠法是以化學(xué)活性成分高的化合物為前驅(qū)體，將這些原料在液相中均勻混合，進(jìn)行水解和縮合化學(xué)反應(yīng)，在溶液中形成穩(wěn)定的透明溶膠體系，然后通過提拉、鍍膜等工藝在基底上獲得減反射膜。
化學(xué)化學(xué)氣相沉積(CVD)是在襯底上沉積薄膜，襯底加入含有元素的氣體，這些元素通過化學(xué)反應(yīng)形成薄膜，使用諸如加熱、等離子體和紫外光等能源，可以制備出正辛、硫化鋅、二氧化硅和碳化硅減反射薄膜。
磁控濺射法是在高真空中充入適量的氬氣，在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極鍍膜室壁之間施加DC電壓，使鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控異常輝光發(fā)電，使氬氣電離。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，中性的靶材原子(或分子)沉積在基底上形成薄膜。氧化鉭和氮化硅膜最常用磁控濺射法制備。
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